UV光束分析儀/UV激光光束質(zhì)量分析儀可實現(xiàn)高分辨率實時空間光束的監(jiān)測、定量表征與強度分布。用于所有脈沖或連續(xù)波激光器以及非相干光源，檢測器CCD芯片上量子轉(zhuǎn)換涂層保證了UV檢測的高靈敏度。

UV紫外/EUV極深紫外激光光束質(zhì)量分析儀可實現(xiàn)高分辨率實時空間光束的監(jiān)測、定量表征與強度分布。用于所有脈沖或連續(xù)波激光器以及非相干光源，覆蓋極寬的光譜范圍從近紅外到軟X射線（光譜范圍~ 1 …. 1100 nm），檢測器CCD芯片上量子轉(zhuǎn)換涂層保證了UV/EUV檢測的高靈敏度。